Henry Edin St. Clair Deville a Friedrich Wöhler prvýkrát hlásili syntézu kremíkového nitridu v roku 1857. V metóde syntézy sa uvádzali, že klicitový kremík bol zakopaný v téglikovom naplnenom uhlíkom a zahrieval sa na zníženie infiltrácie kyslíka. Hlásili produkt, ktorý nazývali nitrid kremíka, ale nedokázali zistiť jeho chemické zloženie. V roku 1879 Paul Schuetzenberger zmiešal kremík s výstelkou (pasta, ktorá sa môže použiť ako téglika, získaná zmiešaním uhlia, uhlia alebo koksu s hlinkou) a zahrieva ho v vysokej peci a uvádza ju ako zlúčeninu so zložením Si3N4. V roku 1910 Ludwig Weiss a Theodor Engelhardt zahrievali kremík v čistom dusíku, aby sa získal SI3N4. V roku 1925 spoločnosť Friederich a Sittig použili karbotermálnu redukciu na tepelný oxid kremíku a uhlík do 1250-1300 v atmosfére dusíka na syntézu nitridu kremíka.
Silikónový nitrid nebol brať vážne a študovaný po celé desaťročia, kým sa neobjavili komerčné aplikácie nitridu kremíka. Od roku 1948 do roku 1952 zaregistrovala spoločnosť Acheson's Diamond Company neďaleko Niagara Falls v New Yorku niekoľko patentov na výrobu a použitie nitridu kremíka. V roku 1958 sa na výrobu termočlánkových trubíc, raketových dýz a krížových klíkov na topenie kovov použil kremíkový nitrid produkovaný karbidom Únie. Výskum nitridu kremíka vo Veľkej Británii sa začal v roku 1953 s cieľom vyrábať vysokoteplotné časti plynových turbín. To viedlo k vývoju viazaného nitridu kremíka a kremíkového nitridu zatlačeného zatkaným. V roku 1971 Agentúra obrany Advanced Research Projects v rámci ministerstva obrany USA podpísala zmluvu s Fordom a Westinghouse vo výške 17 miliónov dolárov na vývoj dvoch keramických plynových turbín.
Aj keď sú vlastnosti nitridu kremíka už dlho známe, nitrid kremíka (vo veľkosti asi 2 x 5 um), ktorý existuje prirodzene na Zemi, sa objavil až v 90. rokoch 20. storočia v meteoritoch. Tento typ rudy nitridu kremíka, ktorý sa nachádza v prírode, sa pomenuje „Nierite“ na počesť Alfreda Otta Carla Niera, priekopníka vo výskume hromadnej spektrometrie. Existujú však dôkazy o tom, že tento typ rudy nitridu kremíka sa mohol nájsť v meteoritoch v Azerbajdžane, bývalom Sovietskom zväze, skôr. V provincii Guizhou v Číne sa našli meteority obsahujúce minerály nitridov kremíka. Okrem existujúceho v meteoritoch na Zemi je kremíkový nitrid distribuovaný aj v kozmickom prachu vo vesmíre.
